85UHP超高纯度压力传感器

2026-07-02 4

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产品详情:85UHP系列超高纯度压力传感器

       85UHP是一种可焊接的紧凑型型材,兼容多种介质,压力传感器,一种集成于316L不锈钢中的微机电系统压阻芯片不锈钢或C276合金模块,内充硅油将压力从前表面的薄波纹隔膜传递。该产品专为寻求OEM的客户设计与制造半导体应用工艺时长超过TE标准85型ISO胶囊,提供浸渍材料选项及表面粗糙度优化为超高纯度与超高真空场景,利用TE的先进微机电系统(MEMS)能力来提供无与伦比的精准度与稳定性。


类        型:绝压
量        程:0~15,30,50,100PSI
精  确  度:±0.1%非线性
输        出:100mV(典型值)
供电电源:1.5mA或10Vdc
工作温度:-40℃~+125℃
电气连接:导线带
特        点:高真空稳定性、符合F105标准的湿润表面、合金C276变体、固态可靠性

典型应用:半导体设备、气体柜、质量流量控制器、高纯气体输送系统、压力与流量控制